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【2h】

A Micromachined Airflow Sensor Based on RF Evanescent-Mode Cavity Resonator

机译：基于射频van逝腔谐振器的微机械流量传感器

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作者
Yanzhu Zhao; Seong-hyok Kim; Yuan Li; Bo Pan; Xiaosong Wu; Manos Tentzeris; John Parapolymerou; Mark G Allen;
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年度 2009
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