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AC VOLTAGE REFERENCE BASED ON A CAPACITIVE MICROMECHANICAL COMPONENT

机译：基于电容式微机械元件的交流电压基准

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A. Kärkkäinen; N. Pesonen; M. Suhonen; J. Kyynäräinen; A. Oja; A. Manninen; N. Tisnek;
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年度 2011
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