机译:横向静电驱动直流接触RF MEMS系列开关的非线性激励模型
机译:拱形结构的高阶理论及其在静电驱动MEMS器件研究中的应用
机译:基于纳米摩擦学的新型表征技术,用于利用力距曲线测量静电驱动的NEMS / MEMS器件中的介电充电失效机理
机译:热和静电作用下多介电MEMS器件的一般接触和滞后分析
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:静电驱动MEMS器件的稳定性非线性和可靠性
机译:横向静电驱动直流电致动RF MEMS系列开关的非线性致动模型
机译:电离辐射对微机电系统(mEms)执行器的影响:静电,电热和残余应力