首页> 外文OA文献 >Fixture-Based Industrial Robot Calibration for Silicon Wafer Handling 1

【2h】

Fixture-Based Industrial Robot Calibration for Silicon Wafer Handling 1

机译：基于夹具的用于硅晶片处理的工业机器人校准1

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Mike Tao Zhang; Dimitri Kambouridis; Tom Wahl; Rodney Lum; Paul Larskulsint; Greg Hirth; Brian Carlisle; Ken Goldberg;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2011
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Fixture-based industrial robot calibration for silicon wafer handling [J] . Mike Tao Zhang, Ken Goldberg Industrial Robot . 2005,第1期

机译：基于夹具的工业机器人校准，用于处理硅晶片
2. Scheduling a wet station for wafer cleaning with multiple job flows and multiple wafer-handling robots [J] . TAE-EOG LEE, HWAN-YONG LEE, SANG-JIN LEE International Journal of Production Research . 2007,第3期

机译：通过多个作业流程和多个晶圆处理机器人安排湿站以进行晶圆清洁
3. Accuracy Analysis of Dynamic-Wafer-Handling Robotic System in Semiconductor Manufacturing [J] . Cheng, H., Chen, IEEE Transactions on Industrial Electronics . 2014,第3期

机译：半导体制造中动态晶圆处理机器人系统的精度分析
4. Precise 3D Calibration of Wafer Handling Robot by Visual Detection and Tracking of Elliptic-shape Wafers [C] . Zining Wang, Masayoshi Tomizuka IEEE International Conference on Robotics and Automation . 2020

机译：通过视觉检测和跟踪椭圆形晶圆对晶圆处理机器人进行精确的3D校准
5. Analysis of handling stresses and breakage of thin crystalline silicon wafers. [D] . Brun, Xavier F. 2008

机译：分析薄结晶硅晶片的处理应力和断裂。
6. New Method and Portable Measurement Device for the Calibration of Industrial Robots [O] . Caglar Icli, Oleksandr Stepanenko, Ilian Bonev 2020

机译：用于校准工业机器人的新方法和便携式测量装置
7. Task failure prediction for wafer-handling robotic arms by using various machine learning algorithms [O] . Ping Wun Huang, Kuan-Jung Chung 2021

机译：使用各种机器学习算法对晶圆处理机器人臂的任务故障预测

Fixture-Based Industrial Robot Calibration for Silicon Wafer Handling 1

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅