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【2h】

Particle deposition and removal from Ge wafers

机译：锗晶片中的颗粒沉积和去除

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Sonja Sioncke; Marcel Lux; Wim Fyen; Marc Meuris; Paul Mertens; Antoon Theuwis;
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年度 2014
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机译：锗晶片中的颗粒沉积和去除
2. Particle deposition and removal from Ge wafers [J] . Sonja Sioncke, Marcel Lux, Wim Fyen, Diffusion and Defect Data. Solid State Data, Part B. Solid State Phenomena . 2008,第Null期

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