机译:负衬底偏压对通过混合滤波阴极电弧和离子束溅射技术沉积的Ti-Si-N薄膜的微观结构和力学性能的影响
机译:离子束溅射沉积B_4C薄膜的组织和力学性能
机译:倍半氧化钇,Y_2O_3,通过离子束溅射沉积在Si上的薄膜:微观结构和介电性能
机译:氧含量对氧离子束辅助脉冲反应磁控溅射沉积的Al_2O_3薄膜微结构和光学性能的影响
机译:在高温下溅射沉积的超弹性镍钛薄膜的加工,微观结构和热机械行为。
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:磁控溅射沉积锡/钛/ TIC多层薄膜的组织和力学性能