Du tri-isopropoxyde aux oxydes d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur : procédé, composition et propriétés des revêtements obtenus

摘要

Des revetements d'alumine préparés par MOCVD à partir d'isopropoxyde d'aluminium (réacteur à mur chaud, basse pression, température de dépôt entre 350° et 700°C) ont été caractérisés par EDS, EMPA, ERDA-RBS, DRX, MEB, MET, FTIR, ATG, AFM. La composition des dépôts préparés par pyrolyse du précurseur dans l'azote sec est AlO(OH) (amorphe) à 350°C, Al203 (amorphous or nanocristallin) au dessus de 415°C. Le dépôt en présence de vapeur d'eau conduit à la formation de Al203 uniquement. L'évolution microstructurale des dépôts a été étudiée par la technique de déflexion de lames asymétriquement revêtues, et par MET. Des essais de corrosion en solution et de corrosion sous contrainte effectués sur des alliages de titane Ti6242 revêtus d'alumine mettent en évidence un comportement électrochimique et des aptitudes de barrière très prometteurs, au niveau des meilleurs revêtements protecteurs testés. ABSTRACT : This film of alumina were prepared by MOCVD from aluminium isopropoxyde (hot-wall reactor, low-pressure, deposition temperature in range 350-700°C°. there were characterized by EDS, EMPA, ERDA-RBS, XRD, SEM, TEM, FTIR, TGA, AFM. The composition of films prepared by pyrolyzing the precursor in dry nitrogen is AlO(OH) (amorphous) at 350°C, and Al2O3 (amorphous or nanocrystalline) above 415°C. Deposition in the presence of water vapour yields Al2O3 only. Microstructural changes in the films were studied through the technique of deflection applied to asymmetrically coated blades, and by the transmission electron microscopy. Wet corrosion test and stress corrrosion cracking tests on coated Ti6242 alloys have shown the above described alumina coatings to behave like the best known protective coatings regarding both the electrochemical behaviour and the barrier properties