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【2h】

Towards micro-assembly of hybrid MOEMS components on reconfigurable silicon free-space micro-optical bench.

机译：在可重配置的硅自由空间微光学平台上实现混合MOEMS组件的微组装。

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Bargiel Sylwester; Rabenorosoa Kanty; Clévy Cédric; Gorecki Christophe; Lutz Philippe;
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年度 2010
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1. Towards micro-assembly of hybrid MOEMS components on a reconfigurable silicon free-space micro-optical bench [J] . S. Bargiel, K. Rabenorosoa, C. Clevy, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2010,第4期

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Towards micro-assembly of hybrid MOEMS components on reconfigurable silicon free-space micro-optical bench.

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