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Piston Motion Performance Analysis of a 3DOF Electrothermal MEMS Scanner for Medical Applications.

机译：用于医疗应用的3DOF电热MEMS扫描仪的活塞运动性能分析。

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机译：国际观众

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作者
Espinosa Alberto; Rabenorosoa Kanty; Clevy Cédric; KOMATI Bilal; Lutz Philippe; Zhang X.; Samuelson R.; Xie H.;
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年度 2014
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1. PISTON MOTION PERFORMANCE ANALYSIS OF A 3DOF ELECTROTHERMAL MEMS SCANNER FOR MEDICAL APPLICATIONS [J] . Espinosa A., Rabenorosoa K., Clevy C., International Journal of Optomechatronics . 2014,第3a4期

机译：用于医疗应用的3自由度电热MEMS扫描仪的活塞运动性能分析
2. Design and performance of an electrothermal MEMS microengine capable of bi-directional motion [J] . Edward S. Kolesar, William E. Odom, Joseph A. Jayachandran, Thin Solid Films . 2004,第Jan期

机译：可双向运动的电热MEMS微引擎的设计和性能
3. An Electrothermal Cu/W Bimorph Tip-Tilt-Piston MEMS Mirror with High Reliability [J] . Liang Zhou, Xiaoyang Zhang, Huikai Xie Micromachines . 2019,第5期

机译：高可靠性的电热Cu / W双压电晶片倾斜活塞MEMS镜
4. MEMS scanner with 2D tilt, piston and focus motion [C] . S.Lani, D.Bayat, Y.Petremand, MOEMS and miniaturized systems XVI . 2017

机译：具有2D倾斜，活塞和聚焦运动的MEMS扫描仪
5. Large-scan-range electrothermal MEMS micromirrors and microlenses and their biomedical imaging applications. [D] . Liu, Lin. 2013

机译：大扫描范围电热MEMS微镜和微透镜及其生物医学成像应用。
6. An Electrothermal Cu/W Bimorph Tip-Tilt-Piston MEMS Mirror with High Reliability [O] . Liang Zhou, Xiaoyang Zhang, Huikai Xie 2019

机译：具有高可靠性的电热Cu / W双压电晶片倾斜式MEMS镜
7. An Electrothermal Cu/W Bimorph Tip-Tilt-Piston MEMS Mirror with High Reliability [O] . Liang Zhou, Xiaoyang Zhang, Huikai Xie 2019

机译：具有高可靠性的电热Cu / W双铜尖端倾斜 - 活塞MEMS镜
8. Low-Power, Low-Cost, High Performance Beamformer for Medical Ultrasound Scanners. [R] . M. O'Donnell M. K. Quick S. R. Freeman T. E. Linnenbrink 1996

机译：用于医用超声扫描仪的低功耗，低成本，高性能波束形成器。

Piston Motion Performance Analysis of a 3DOF Electrothermal MEMS Scanner for Medical Applications.

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