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【2h】

Characterization of a 2-dof MEMS nanopositioner with integrated electrothermal actuation and sensing capability.

机译：具有集成电热驱动和感应功能的2-dof MEMS纳米定位器的特性。

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机译：国际观众

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Rakotondrabe Micky; Fowler Anthony; Reza Moheimani S.O.;
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年度 2012
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1. Control of a Novel 2-DoF MEMS Nanopositioner With Electrothermal Actuation and Sensing [J] . Rakotondrabe M., Fowler A.G., Moheimani S.O.R. Control Systems Technology, IEEE Transactions on . 2014,第4期

机译：具有电热致动和传感的新型2自由度MEMS纳米定位器的控制
2. Design, Modeling, and Control of a Micromachined Nanopositioner With Integrated Electrothermal Actuation and Sensing [J] . Zhu Y., Bazaei A., Moheimani S. O. R., Microelectromechanical Systems, Journal of . 2011,第3期

机译：集成电热驱动和传感的微机械纳米定位器的设计，建模和控制
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4. Characterization of a 2-DoF MEMS nanopositioner with integrated electrothermal actuation and sensing [C] . Rakotondrabe Micky, Fowler Anthony G., Moheimani S. O. Reza IEEE Sensors . 2012

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5. MEMS electrothermal actuators in guided and unguided Fourier transform spectroscopy systems. [D] . Samuelson, Sean Robert. 2013

机译：引导和非引导傅立叶变换光谱系统中的MEMS电热执行器。
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7. Control of a Novel 2-DoF MEMS Nanopositioner With Electrothermal Actuation and Sensing [O] . Micky Rakotondrabe, Anthony G. Fowler, Student Member, 2016

机译：利用电热驱动和传感控制新型2-DoF mEms纳米定位器

Characterization of a 2-dof MEMS nanopositioner with integrated electrothermal actuation and sensing capability.

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