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【2h】

Microfabricated PMN-PT on Silicon cantilevers with improved static and dynamic piezoelectric actuation: development, characterization and control.

机译：硅悬臂上的超细PMN-PT，具有改进的静态和动态压电致动：开发，表征和控制。

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Ivan Ioan; Agnus Joël; Rakotondrabe Micky; Lutz Philippe; Chaillet Nicolas;
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年度 2011
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