机译:通过热线化学气相沉积在塑料基板上低温度沉积非晶和微晶硅膜
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:通过热线化学气相沉积在低温沉积的微晶硅薄膜中的传输
机译:热线化学气相沉积法沉积掺杂微晶硅薄膜的结构和电性能的比较研究
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:常压等离子体化学气相沉积法生长掺锌铜的抗菌氧化硅薄膜
机译:通过热线化学气相沉积在低基板温度下沉积的非晶和微晶硅膜的掺杂
机译:衬底温度和氢稀释比对热线化学气相沉积法生长纳米硅薄膜性能的影响