机译:低能氩等离子体处理对热线CVD生长的SiN_x多层膜的湿气阻隔性能的影响
机译:氩等离子体处理的Hot Wire-CVD生长的氮化硅薄膜的渗透阻挡性能
机译:氩离子能量对热线CVD在聚合物上生长的氮化硅多层渗透势垒性能的影响
机译:氢和氩气低能等离子体处理后硅表面的同步快铁研究
机译:通过远程等离子体溅射沉积的湿气/氧气阻隔层的特性和性能。
机译:在一个反应器中通过等离子体增强的ALD和CVD制备的有机-无机薄多层膜的防潮性能
机译:氩等离子体处理热线CVD生长的氮化硅薄膜的渗透阻挡性能