机译:微加工电容式压力传感器硅膜(MoO3)x薄膜的激光探测。
机译:高灵敏度的微机械电容式压力传感器,具有减小的磁滞和低寄生电容
机译:具有空洞金属/弹性体层的无腔结构微电容式压力传感器及其无线遥测应用
机译:用于眼压测量的表面微机械电容式压力传感器
机译:坚固的微机械电容式压力传感器,适用于机械恶劣的环境。
机译:具有空洞金属/弹性体层的无腔结构微电容式压力传感器及其无线遥测应用
机译:具有0.8μm的CMOS集成表面微机动电容式压力传感器,具有EEPROM修剪和用于轮胎压力监测系统的数字输出