首页> 外文OA文献 >A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology

【2h】

A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology

机译：多层金属技术制造的MEMS加速度计的机械结构研究

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Yamane Daisuke; Konishi Toshifumi; Teranishi Minami; Chang Tso-Fu Mark; Chen Chun-Yi; Toshiyoshi Hiroshi; Masu Kazuya; Sone Masato; Machida Katsuyuki;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2016
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Design and Characterization of a Fully Differential MEMS Accelerometer Fabricated Using MetalMUMPs Technology [J] . Hongwei Qu, Peng Qu Sensors . 2013,第5期

机译：使用MetalMUMPs技术制造的全差分MEMS加速度计的设计与表征
2. Micro-machined resonant out-of-plane accelerometer with a differential structure fabricated by silicon-on-insulator–MEMS technology [J] . Wang J., Shang Y., Chen J., Micro & Nano Letters, IET . 2012,第12期

机译：通过绝缘体上硅-MEMS技术制造的具有差分结构的微机械谐振面外加速度计
3. Miniaturization of MEMS Capacitive Accelerometers Fabricated Using Silicon-on-insulator-MEMS Technology [J] . Jiannan Liu, Hideo Muro Sensors and materials . 2018,第5a2a期

机译：使用绝缘体上硅-MEMS技术制造的MEMS电容式加速度计的小型化
4. MEMS Accelerometer Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology [C] . K. Machida, D. Yamane, T. Konishi, Meeting of the Electrochemical Society . 2019

机译：由金多层金属技术制造的MEMS加速度计
5. Characterization of mechanical properties and study of microstructures of friction stir welded joints fabricated from similar and dissimilar alloys of aluminum. [D] . Akula, Deepa Reddy. 2007

机译：用相似和不同的铝合金制造的搅拌摩擦焊接接头的力学性能和微观结构的研究。
6. Design and Characterization of a Fully Differential MEMS Accelerometer Fabricated Using MetalMUMPs Technology [O] . Peng Qu, Hongwei Qu 2013

机译：使用MetalMUMPs技术制造的全差分MEMS加速度计的设计与表征
7. Multi-Physics Simulation Platform and Multi-Layer Metal Technology for CMOS-MEMS Accelerometer with Gold Proof Mass [O] . Katsuyuki Machida, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, 2019

机译：CMOS-MEMS加速度计的多物理仿真平台和多层金属技术，金色防尘仪

A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅