首页> 外文OA文献 >SAMs (self-assembled monolayers) passivation of cobalt microbumps for 3D stacking of Si chips
【2h】

SAMs (self-assembled monolayers) passivation of cobalt microbumps for 3D stacking of Si chips

机译:用于硅芯片3D堆叠的钴微凸块的SAMs(自组装单层)钝化

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