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机译:用于铜阻挡层的超薄钌和钌合金薄膜的生长
Liao Wen; Bost Daniel; Ekerdt John G.;
机译:钌-磷和钌-硼玻璃态结构的第一性原理预测以及非晶态钌-硼合金薄膜的化学气相沉积
机译:原子层沉积超薄钌膜初始生长的原位分析
机译:将金属锰掺入用作铜扩散阻挡层的钌薄膜中的化学和结构研究
机译:通过化学气相沉积生长的低碳钌 - 磷合金薄膜阻隔性能 - (PPT)
机译:铜互连中用于衬里的CVD钌和非晶态钌-磷合金膜的生长与表征
机译:纳米铜镍合金薄膜上单层石墨烯的生长
机译:调整钌 - 铜合金纳米粒子锚定的电子和成分效果,用于可充电Li-Co2电池的碳纳米纤维
机译:铜或铜合金种子层下面的导电阻挡层(尤其是钌和钽合金)的溅射沉积的集成过程
机译:溅射沉积导电阻挡层(尤其是钌和钽的合金),下层铜或铜合金籽晶层的集成工艺
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