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Dynamics and particle fluxes in atmospheric-pressure electronegative radio frequency microplasmas

机译:大气负电射频微等离子体的动力学和粒子通量

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摘要

We report on intricate dynamics observed in atmospheric-pressure rf electronegative dischargesudwhere electrons and anions are separated due to their different mobilities. This results in theudformation of positively charged regions between an electronegative plasma core and an oscillatingudelectron ensemble. It is found that for a given input power, the electron, ion (both positive andudnegative) and neutral fluxes increase as the gap size is reduced, resulting in a more efficientuddelivery of chemical species to a treated target.
机译:我们报告了在大气压rf负电放电 ud上观察到的复杂动力学,其中电子和阴离子由于迁移率不同而分开。这导致在负电等离子体核心和振荡 ud电子集合之间带正电的区域变形。发现对于给定的输入功率,电子,离子(正负)和中性通量会随着间隙尺寸的减小而增加,从而将化学物质更有效地输送到处理过的目标。

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