Seit dem Beginn der industriellen Fertigung ist ein fortschreitender Automatisierungsgrad innerhalb der Produktion festzustellen. Die Halbleiterfertigung ist hier ein Beispiel für eine Branche, die einen großen Automatisierungsgrad erreicht hat. In modernen Halbleiterfabriken erfolgt aufgrund der Größe und des Gewichts der zu bearbeitenden Siliziumscheiben (Wafer) der Transport mit automatischen Transportsystemen.Zur effizienten Nutzung der Produktionssysteme muss die Maschinenbelegung und die Verwendung der Fahrzeuge sorgfältig aufeinander abgestimmt werden. In klassischen Steuerungsansätzen werden die Transportentscheidungen allerdings häufig vernachlässigt bzw. unabhängig von den Maschinenbelegungsentscheidungen getroffen. Eine gemeinsame Behandlung von Maschinenbelegungs- und Transportentscheidungen in einem integrierten Modell führt hier zu einer besseren Abbildung der Realität. In dieser Arbeit soll ein integriertes Steuerungsverfahren, das sowohl Maschinenbelegungsentscheidungen als auch Transportentscheidungen vornimmt, entwickelt werden. Um die Anwendbarkeit des entwickelten Verfahrens zu überprüfen, erfolgt die Leistungsbewertung mit Hilfe von Simulationsmodellen, die das Produktionssystem emulieren.
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