机译:ZrN和Zr-Ge-N薄膜作为Si上Cu金属化扩散阻挡层的比较研究
机译:Cu含量对ZrN-Cu膜微观结构,机械和摩擦学性质的影响
机译:ZrN扩散覆盖层对金属栅/ ZrN / Zr梯度Dy_2O_3 / Si MIS纳米层状结构电学和物理性能的影响。
机译:厚度对ZrN在Cu / ZrN / Si体系中扩散势垒性能的影响
机译:在Cu / SiLK(TM)金属化方案中,集成非晶钽氮化硅(TaSiN)薄膜作为扩散阻挡层。
机译:用于Cu / Si Connect系统的Alcrtatizr / AlcrtatizR-N高熵合金薄膜的扩散阻挡性能
机译:研究更新:反应溅射的纳米薄ZrN薄膜作为al和硼层之间的扩散阻挡层,用于辐射探测器应用