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Computational Prediction of Cryogenic Micro-nano Solid Nitrogen Particle Production Using Laval Nozzle for Physical Photo Resist Removal-cleaning Technology

机译：物理光刻胶去除技术的拉瓦尔喷嘴低温微氮固氮颗粒生成的计算预测

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作者
Ishimoto Jun; Abe Haruto; Ochiai Naoya;
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年度 2015
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