机译:SU-8紫外光刻技术对预对准光纤束耦合器的微细加工
机译:SU-8厚光刻胶紫外光刻工艺的综合模拟
机译:使用紫外线光刻技术制作五层三维微型SU-8轴流风机
机译:集成微透镜阵列的预对准光纤束耦合器的微加工和测试
机译:高峰值功率光纤激光器技术,用于激光产生的等离子体极紫外光刻。
机译:SU-8紫外光刻技术对预对准光纤束耦合器的微细加工
机译:单个激光工作站上的微流控设备的微细加工工艺:在SU-8上直接书写光刻,在聚合物上进行激光烧蚀以及掩模制造
机译:采用sU-8光刻胶的220-GHz片状光束放大器光栅的UV-LIGa微加工