机译:高灵敏度超声微传感器屈曲膜片结构的Sol-Gel衍生PZT膜的固有应力控制
机译:溶胶-凝胶衍生的PZT薄膜在不同热解温度下的压电超声微传感器的灵敏度
机译:通过侧向应力增强控制二氧化硅膜片的屈曲,从而提高压电超声微传感器的灵敏度
机译:在空气中使用硅膜上的PZT薄膜的高指向性阵列超声微传感器
机译:溶胶 - 凝胶衍生PZT薄膜的固有应力控制,用于屈曲膜片结构高敏感的超声波微传感器
机译:使用固有和外部施加的应力控制图案化铁钴薄膜中的磁畴结构。
机译:通过简单的模板掩模工艺在微传感器平台上集成的高灵敏度溅射ZnO:Ga薄膜用于亚ppm乙醛检测
机译:压电膜片式超声微传感器的极化效应和通过屈曲轮廓控制增强灵敏度
机译:用于去耦电容器应用的溶胶 - 凝胶法制备pZT薄膜的制备和性能