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机译:ZnO纳米晶须增强的MEMS压电发电机PZT厚膜的制备与表征
DUAN Zhong-xia; YU Guo-qin; LIU Jun-biao; LIU Jun; DONG Xiao-wen; HAN Li; JIN Peng-yun;
机译:PZT纳米粒子增强的PZT压电厚膜产生材料的制备与表征
机译:硅片上批量制备PZT厚膜及其在MEMS发电机中的应用
机译:具有体微加工的PZT厚膜的MEMS压电合成射流执行器的制造与表征
机译:用于压电MEMS机械能收集的PZT薄膜。
机译:自分离pZT厚膜与块状的压电和机电性质
机译:微压电装置厚PZT薄膜的制造与表征
机译:基于锆钛酸铅(pZT)薄膜的压电mEms麦克风
机译:包含有机材料和纳米孔的pzt基压电厚膜及其制备方法
机译:基于PZT的含有机材料和纳米孔的压电厚膜及其制备方法
机译:基于压电厚膜微机电系统的微能收集器及其制备方法
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