Evaluation of Polishing Pad Property by Rubber Hardness Test-estimating Edge Surface Flatness of Workpiece

机译：通过橡胶硬度测试评估工件的边缘表面平整度来评估抛光垫的性能

机译：新型堆叠式抛光垫改善了边缘表面的平面度

机译：新开发的抛光垫，可实现高表面平整度而不会掉落边缘

机译：橡胶硬度试验估算抛光垫特性的评价工件的边缘表面平坦度 -

机译：聚氨酯化学机械平面化抛光垫的评估和表征。

机译：在不同时间进行抛光前后复合树脂表面硬度的评估

机译：用双层抛光垫实现高度平坦的边缘（用软化上层改善边缘平坦度）

机译：化学机械抛光设备化学机械抛光性能的评估方法，材料表面的表面均匀性评估方法以及浆状化学材料的性能评估方法

机译：抛光垫，抛光垫的制造方法，抛光光学材料或半导体材料表面的方法，以及抛光垫的评估方法

机译：抛光垫，抛光垫的制造方法，光学材料或半导体材料的表面的抛光方法以及抛光垫的评价方法