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Dielectric Elastomer Micro Actuator Made In Micromachining Technology: Finite Element Modelling and Deformation Measurement

机译：微加工技术制造的介电弹性体微驱动器：有限元建模和变形测量

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Soulimane S.; Pinon S.; Shih W-P.; Camon H.;
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年度 2011
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