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机译:团簇磁流变效应平面抛光的磨料颗粒轨迹分析与模拟
Pan Jisheng; Yan Qiusheng; Xu Xipeng; Zhu Jiangting; Wu Zhancheng; Bai Zhenwei;
机译:细磨轮簇磁流变精加工中磨料的运动轨迹和停留时间分析
机译:平面抛光团簇磁流变效应的材料去除机理
机译:磁流变抛光液中颗粒行为的粗粒分子动力学模拟
机译:平面磁磨削整理过程研究 - 抛光轨迹的实验与理论分析
机译:CMP过程中的磨料颗粒轨迹和材料去除不均匀性以及CMP浆料的过滤特性-模拟和实验研究。
机译:分子构象和取向都很重要的系统分子模拟轨迹的聚类分析
机译:基于磨料粒子轨迹统计分析的单面研磨运动学优化
机译:抛光晶片,例如半导体,涉及使用悬浮液中基于金刚石颗粒的磨料进行抛光,其中使用的磨料混合物可实现金刚石/二氧化硅体积比可控的金刚石颗粒和二氧化硅颗粒
机译:包括第一磨料颗粒和第二磨料颗粒的CMP浆料组合物,可通过提高半导体基质的初始抛光速率来正常地保持抛光速度
机译:制备磨料颗粒混合物组合物的方法,磨料颗粒混合物组合物,使用该磨料颗粒混合物组合物的抛光垫,生产抛光垫的方法和化学机械抛光方法
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