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【2h】

Anodic Bonding of Glass-to-Glass through Magnetron Spattered Nanometric Silicon Layer

机译：磁控管溅射的纳米硅层对玻璃与玻璃的阳极键合

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作者
Knapkiewicz Pawel; Cichy Bartlomiej; Posadowski Witold; Tadaszak Katarzyna; Sniadek Patrycja; Dziuban Jan;
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年度 2011
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3. Glass-to-glass anodic bonding with standard IC technology thin films as intermediate layers [J] . A. Berthold, L. Nicola, P.M. Sarro Sensors and Actuators, A. Physical . 2000,第1a3期

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