Aluminum Nitride SOI Lamb-wave Resonators towards Multi-frequency, Multi-sensitive Temperature Sensor Platform

机译：使用氮化铝MEMS谐振器的多灵敏度温度传感器平台

机译：射频设计的高功率兰姆波氮化铝谐振器

机译：氮化铝兰姆波谐振器，用于大功率高频应用

机译：铝氮化物SOI Lamb波谐振器朝多频，多敏感温度传感器平台

机译：用于定时和频率控制应用的温度补偿和高Q压电铝氮化物振荡器谐振器

机译：同心分裂铝和氮化硅铝环形环谐振器

机译：氮化铝SOI Lamb波谐振器朝着多频，多敏感温度传感器平台发展

机译：利用最低阶对称模式对氮化铝Lamb波谐振器进行温度补偿。

机译：无源温度传感器，具有由压电材料制成的声波谐振器，并设有由铝和铜的合金或铝，铜和元素的合金制成的金属电极

机译：包括氮化铝aluminum和温度补偿功能的声谐振器

机译：包含氮化铝铝的声波谐振器和温度补偿功能