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【2h】

Process-Induced Stress and Hydrogen Effects on Monolithic Integrated CMOS-MEMS Micro-Bimaterial Cantilever Sensor Array

机译：过程诱导的应力和氢对单片集成CMOS-MEMS微双材料悬臂梁传感器阵列的影响

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作者
Zhao Danqi; Yang Fang; Liu Peng; Lin Chen; He Jun; Huang Xian; Li Dan; Zhang Xia; Zhang Dacheng;
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年度 2012
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1. Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators [J] . Zhao D., Zhang X., He J., Sensors and Actuators, A. Physical . 2013,第Null期

机译：工艺引起的应力和氢对单片集成BiCMOS-MEMS谐振器的影响
2. Indium phosphide-based monolithically integrated PIN waveguide photodiode readout for resonant cantilever sensors [J] . Siwak N.P., Fan X.Z., Kanakaraju S., Applied Physics Letters . 2014,第14期

机译：基于磷化铟的单片集成PIN波导光电二极管读数，用于谐振悬臂传感器
3. Indium phosphide-based monolithically integrated PIN waveguide photodiode readout for resonant cantilever sensors [J] . N. P. Siwak, X. Z. Fan, S. Kanakaraju, Applied Physics Letters . 2014,第14期

机译：基于磷化铟的单片集成PIN波导光电二极管读数，用于谐振悬臂传感器
4. Process-Induced Stress and Hydrogen Effects on Monolithic Integrated CMOS-MEMS Micro-Bimaterial Cantilever Sensor Array [C] . Danqi Zhao, Fang Yang, Peng Liu European Conference on Solid-State Transducers . 2013

机译：过程诱导的整体集成CMOS-MEMS微自体悬臂传感器阵列的应力和氢气效应
5. Inertial Sensor Design at Dynamic Range Extremes: Integrated CMOS-MEMS high-g and mu-g accelerometers. [D] . Tsao, Amy Wung. 2011

机译：动态范围极限条件下的惯性传感器设计：集成式CMOS-MEMS高g和mu g加速度计。
6. Fabrication of Low Cost and Low Temperature Poly-Silicon Nanowire Sensor Arrays for Monolithic Three-Dimensional Integrated Circuits Applications [O] . Siqi Tang, Jiang Yan, Jing Zhang, 2020

机译：用于单片三维集成电路应用的低成本和低温多晶硅纳米线传感器阵列的制造
7. Microfluidic surface-enhanced Raman scattering sensor with monolithically integrated nanoporous gold disk arrays for rapid and label-free biomolecular detection [O] . Ming Li, Fusheng Zhao, Jianbo Zeng, 2014

机译：微流体表面增强拉曼散射传感器，具有单片集成的纳米多孔金盘阵列，可快速和无标记的生物分子检测

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