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【2h】

Ultrasonic Vibration and Cavitation-aided Micromachining of Hard and Brittle Materials

机译：硬脆材料的超声振动和空化辅助微加工

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作者
Tsuboi Ranko; Kakinuma Yasuhiro; Aoyama Tojiro; Ogawa Hitoshi; Hamada Seiji;
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年度 2012
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2. A study on combined vibration drilling by ultrasonic and low-frequency vibrations for hard and brittle materials [J] . Ken-ichi Ishikawa, H. Suwabe, T. Nishide, Precision Engineering . 1998,第4期

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5. The Effects of Dilute Polymer Solutions on the Shape, Size, and Roughness of Abrasive Slurry Jet Micromachined Channels and Holes in Brittle and Ductile Materials. [D] . Kowsari, Kavin. 2013

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