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【2h】

A Differential Resonant Micro Accelerometer for Out-of-plane Measurements

机译：用于面外测量的差分谐振微加速度计

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作者
Caspani Alessandro; Comi Claudia; Corigliano Alberto; Langfelder Giacomo; Zega Valentina; Zerbini Sarah;
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年度 2014
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