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机译:在元对比掩蔽条件下比较不同处理措施的灵敏度
Ansorge Ulrich; Breitmeyer Bruno G.; Becker Stefanie I.;
机译:在元对比掩盖条件下比较不同处理措施之间的灵敏度。
机译:元对比后掩蔽中前馈和反馈处理的计算研究
机译:字素色联觉之前先处理元对比掩蔽
机译:设置掩模CD规范的方法,包括MEEF和掩模CD错误的过程灵敏度
机译:一种使用绩效经济指标比较基于年龄的维护和基于条件的维护的方法。
机译:元对数后向掩蔽中前馈和反馈处理的计算研究
机译:疲劳应力下眼部测量的敏感性和特异性与性能和主观测量的比较。
机译:确定光刻掩模的掩模层的光学影响包括测量第一测试结构和第二测试结构的几何尺寸,并通过比较它们来确定掩模层的相移和/或吸收
机译:曝光条件测量掩模以及使用相同掩模测量曝光条件的方法和装置
机译:机动车的关键驾驶条件识别方法,包括将驾驶员转移方向后的实际驾驶条件与未来驾驶条件进行比较,并形成对实际条件的临界度的度量
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