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An X-ray Photoelectron Spectroscopy Investigation of Redeposition from Fluorine-based Plasma Etch on Magnetic Recording Slider Head Substrate

机译：X射线光电子能谱研究从磁记录滑块头基板上的氟基等离子体蚀刻中再沉积的过程

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Limcharoen A.; Pakpum C.; Limsuwan P.;
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年度 2012
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