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机译:具有PZT薄膜的压电微泵,用于低功耗微流控设备
Cazorla P.-H.; Fuchs O.; Cochet M.; Maubert S.; Le Rhun G.; Robert P.; Fouillet Y.; Defay E.;
机译:基于压电薄膜的低压硅微型泵
机译:压电MEMS器件的制造-从薄膜到块状PZT晶片
机译:在PZT器件中用作顶部电极的Sr2RuO4薄膜的研究,用作压电传感器
机译:具有PZT薄膜的压电微泵用于低消耗微流体装置
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:LaNiO3缓冲不锈钢箔上的压电PZT厚膜用于柔性设备应用
机译:使PZT薄膜的制备与微压电装置的应用
机译:通过用薄膜型压电装置代替现有的大容量型压电装置来制造用于最小化硬盘的体积或重量的,用于硬盘的薄膜型PZT滑行头的制造方法
机译:形成PZT铁电薄膜的方法,用相同方法制成的PZT铁电薄膜以及使用该相同薄膜的半导体装置
机译:压电薄膜,压电薄膜装置,靶材,压电薄膜的制造方法以及压电薄膜装置
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