机译:微机械压阻流量传感器的单片集成
机译:基于SOI技术的微机械传感器和CMOS电路的单片集成
机译:基于SOI技术的微机械传感器和CMOS电路的单片集成
机译:基于CMOS的微机械流量传感器的单片集成
机译:微加工的平面外微流量传感器。
机译:具有单层集成基于InGaN的量子阱的LED的类似于花朵的内部发射分布其发射窄的蓝色绿色和红色光谱
机译:<标题>用表面微机械的多晶硅传感器和致动器的微电子单片集成的材料和处理问题标题>
机译:微电子与表面微加工多晶硅传感器和执行器单片集成的材料和加工问题