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【2h】

Contour Error Analysis of Precise Positioning for Ball Screw Driven Stage Using Friction Model Feedforward

机译：基于摩擦模型前馈的滚珠丝杠驱动级精密定位轮廓误差分析

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Rafan N.A.; Jamaludin Z.; Chiew T.H.; Abdullah L.; Maslan M.N.;
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年度 2015
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