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Application of Laser Induced Electron Impact Ionization to the Deposition Chemistry in the Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Process with SiH4-NH3 Gas Mixtures

机译：激光诱导电子碰撞电离在SiH4-NH3气体混合物热线化学气相沉积工艺中的沉积化学中的应用

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Eustergerling Brett; Hèden Martin; Shi Yujun;
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年度 2007
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