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A novel monolithic silicon sensor for measuring acceleration, pressure and temperature on a shock absorber

机译：新型单片硅传感器，用于测量减震器上的加速度，压力和温度

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Ferreira C.; Ventura P.; Grinde C.; Morais R.; Valente A.; Neves C.; Reis M.J.C.S.;
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年度 2009
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6. Monolithic Composite Pressure + Acceleration + Temperature + Infrared Sensor Using a Versatile Single-Sided SiN/Poly-Si/Al Process-Module [O] . Zao Ni, Chen Yang, Dehui Xu, 2013

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