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机译:用于电阻MEMS传感器的低成本内置自检方法
Legendre O.; Bertin H.; Garel O.; Mathias H.; Megherbi S.; Jafari K.; Juillard J.; Colinet E.;
机译:用于热激励电阻式MEMS传感器的低成本内置自检方法
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