In-situ beam metrology in shaped-beam lithography tool

机译：异形束光刻工具中的原位束计量

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作者
Kamikubo Takashi; Ohtoshi Kenji; Golladay Steven; Katsap Victor; Kendall Rodney A.; Sunaoshi Hitoshi; Tamamushi Shuichi;
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年度 2008
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