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机译:不平衡磁控溅射系统中的单个Langmuir探针测量
Honglertkongsakul K.; Chaiyakun S.; Witit-anun N.; Kongsri W.; Limsuwan P.;
机译:离子碰撞对磁控溅射法在Ti-N沉积朗缪尔探针测量中的影响
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