机译:射频磁控溅射沉积a-SiC:H和a-SiC薄膜中退火和氧化效应的比较研究
机译:氧气流量比和退火温度对反应磁控溅射沉积二氧化钛薄膜拉曼和光致发光的影响
机译:热退火对液态有机硅烷沉积a-SiC:H薄膜紫外线稳定性的影响
机译:IC-PECVD沉积A-SiC:H薄膜的反应气体流量的影响
机译:活性反应蒸发沉积的透明导电宽带隙半导体薄膜
机译:射频磁控反应共溅射沉积CaO–CoO薄膜的两相转变法生长CaxCoO2薄膜
机译:热退火对DC磁控溅射沉积的A-SiC薄膜的光学和结构性能的影响
机译:工作气体压力和流动对反应溅射氧化钼薄膜的影响。