机译:用于GHz频段电声器件的低温溅射在Al2O3(0001)上的高质量AlN厚膜的结构,光学和声学特性
机译:压电设备用氧化铝基板上的厚膜
机译:MBE生长在多晶A1N厚膜上的单晶GaAs膜,用于功率器件应用
机译:厚度均匀的Ba / sub 0.5 / Sr / sub 0.5 / TiO / sub 3 /铁电厚膜及其在RF MEMS器件中的应用
机译:用于柔性和独立多功能设备的基于聚合物的厚膜制造技术。
机译:LaNiO3缓冲不锈钢箔上的压电PZT厚膜用于柔性设备应用
机译:Lanio3缓冲不锈钢箔上的压电PZT厚膜,用于柔性装置应用
机译:功率mEms结构和器件用pECVD厚氧化膜的残余应力和断裂