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【2h】

Circular Patterned Test Structures for Precise Determination of Piezoelectric Thin Film Constants: Application to ScxAl1-xN

机译：精确测定压电薄膜常数的圆形测试结构：在ScxAl1-xN中的应用

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Mayrhofer P.M.; Euchner H.; Bittner A.; Schmid U.;
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年度 2014
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