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Characterization of UHV E-beam Evaporated Low-Stress Thick Silicon Film for MEMS Application

机译：用于MEMS的超高压电子束蒸发低应力厚硅膜的表征

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Michael A.; Kazuo O.; Xu Y.W.; Kwok C.Y.; Puzzer T.; Varlamov S.;
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年度 2012
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