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【2h】

Parallel preparation of plan-view transmission electron microscopy specimens by vapor-phase etching with integrated etch stops

机译：通过集成蚀刻停止层的气相蚀刻并行制备平面透射电子显微镜样品

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English Timothy S.; Provine J; Marshall Ann F.; Koh Ai Leen; Kenny Thomas W.;
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年度 2016
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