机译:强掺杂多晶硅/氮掺杂硅薄双层中的复杂硼重分布动力学
机译:非熔融准分子激光退火在浅p + / n结形成过程中脉冲数对硅中掺杂物活化的影响
机译:在CMOS技术中使用的共注入p +多晶硅栅极内,亚熔融激光退火引起的掺杂剂扩散和激活
机译:硼在重掺杂硅薄双层栅极中的重新分布
机译:在快速辅助快速热退火过程中,硼的活化和扩散会改变硅的初始工艺条件。
机译:PECVD对低温生长的掺硼氢化晶体硅的退火
机译:研究重硼掺杂的切克劳斯基硅p / p +外延晶片中的铜沉淀
机译:激光退火对离子注入和硼沉积硅中硼重新分布的影响