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TEM studies of PtSi low Schottky-barrier contacts for source/drain in MOS transistors

机译：MOS晶体管中用于源极/漏极的PtSi低肖特基势垒触点的TEM研究

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Laszcz A.; Ratajczak J.; Czerwinski A.; Katcki J.; Breil N.; Larrieu G.; Dubois E.;
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年度 2011
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