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【2h】

CoPt/TiN films nanopatterned by RF plasma etching towards dot-patterned magnetic media

机译：通过RF等离子刻蚀对点图案化磁介质进行纳米图案化的CoPt / TiN膜

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作者
Szívós János; Pothorszky Szilárd László; Soltys Jan; Serényi Miklós; An Hongyu; Deák András; Sáfrán György;
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年度 2017
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